엘스페스 주식회사

1. 신청 기업의 사업 이력 및 사업 분야 - 신청 기업은 2020년 8월 설립된 기업으로 현재 제품 개발 중 - 사업 분야 : 반도체 수동소자 및 IPD(integrated passive device), SiP, Si Interposer 2. Si Capacitor 설계 및 공정기술 - Si Capacitor 설계 및 공정 : 3D Capacitor Design 및 구조 - Si Capacitor 설계 및 공정 : 고용량 Capacitor 박막소재 및 플라즈마 원자층 구조 - Si Capacitor 설계 및 공정 : 초소형화를 위한 Wafer Thinning 및 Backside 표면처리 3. 경쟁사 대비 기술 차별화 기술 - High K Dielectric 소재를 사용한 ALD 박막 공정으로 고용량 Si Capacitance 확보 및 초소형 Thinned Die 제품화를 통한 차세대 제품 Application 확보 4. 제품 개발 적합성 - 기존의 Ceramic Capacitor 대비 Si Capacitor의 성능 비교 평가는 검증된 상태이며, MLCC 대비 Si Capacitor의 우수성 확인 - 상기 선행 기술 개발을 통하여 Proto Sample을 제작 및 기술 타당성을 확보하여 수요 기업으로부터 Design-in 및 상용화를 위한 시제품 개발을 진행 중